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水基纳米金刚石抛光液

发布时间:2020/1/8 10:08:48  点击:133次


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随着通讯高频化、存储超大容量化、特征尺寸向0.13微米或以下的过渡,信息材料及元件的表面粗糙度要求达到1nm左右或以下,这就对磨料及抛光液提出了更高的要求。纳米金刚石的球形与椭球形外貌决定了抛光时不会对工件产生划痕,这是其它方法制备的抛光液难以达到的。纳米金刚石的硬度则是其它材质的磨料无法比拟的。这对提高加工效率和高硬度元件的加工来说,极为重要。正是由于纳米金刚石的上述优势,自纳米金刚石问世,人们就开展了其在抛光中的应用研究。山东东营刘麒荣《超精研磨剂及其制备工艺》公开号:CN1332219A公开了一种用纳米金刚石制成油基抛光液的方法,水基纳米金刚石抛光液由于制备的难度等原因,还未见相关报导。由于目前绝大部分的人工晶体、集成电路的加工是在水体系中进行的,故而油基抛光液无法满足生产要求,且油基抛光液与水基抛光液相比,抛光成本和后处理相对较高,抛光效率较低。
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